仪器简介

离子减薄仪为整套TEM样品制备的最后一道工序，经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。GATAN型号691最新一代精密离子减薄仪在标准配置中增加了低能量离子枪功能，最低离子枪能量只有0.1KeV，尤其适合能量敏感性样品。

关键参数

1、离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体；

2、减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节；

3、离子束能量 100 eV 到6.0 KeV；

4、光束直径 5keV 下350 μm FWHM - 宽离子枪5 keV 下800 μm FWHM；

5、离子电流密度 最大 10 mA/cm²；

6、离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束；

7、离子束尺寸 通过气体控制调整。

应用领域

TEM样品制备

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