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15 2024.04

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    双球差矫正透射电子显微镜(Spectra 300 S/TEM)


1.设备型号:Spectra 300 S/TEM

2.生产厂家:Thermo Fisher Scientific

3. 主要应用范围:

材料形貌、电子衍射、高分辨图像及成分分析;

材料原子结构分析(重、轻原子);

三维结构分析;

多相多场(力、热、电、气)原位实验。

4. 主要特色:

凭借宽极靴物镜及30~300 kV加速电压范围,可满足最广泛的材料研究需求,集成先进的软件及自动化模块,可更加高效、便捷、重复性获得最高分辨率原子尺度结构及化学信息,并配备了原位加载力、加热、通电、通气体及三维重构样品杆。

5. 主要规格及技术指标:

1. 分辨率:

1.1 TEM信息分辨率(非线性):300 kV,70 pm;

1.2 STEM分辨率:300 kV,50 pm;80 kV,96 pm;

2. 加速电压:30 – 300 kV内可自由切换,常用80 kV,200 kV,300 kV;

3. 电子枪:超稳定高亮肖特基场发射电子枪(X-FEG),配备电子枪单色器;束斑漂移 ≤ 0.5 nm/min@300 kV;

4. 球差矫正器:配备物镜和聚光镜双球差矫正器;

5. 洛伦兹透镜:实现在无场环境下对磁性样品的观察;洛仑兹模式可与物镜球差校正器配合使用,信息分辨率 < 1 nm @ 300 kV;

6. 一体化能谱仪:配备四个对称式电制冷能谱探头,探测器面积:≥ 120 mm2;能量分辨率≤136 eV (Mn-Kα);最大输入计数率: ≥ 800 kcps;可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析,原子尺度面分布分析;

7. 样品杆:

7.1 超大视野低背底双倾样品杆;

7.2 标准单倾样品杆;

7.3 三维重构样品杆:最大图像漂移:X/Y方向 ≤ 2 µm (+/- 70°内倾转);最大欠焦量变化:≤ 4 µm (+/- 70°内倾转);

7.4 原位力热耦合样品杆(双倾):最高加载温度:1200 ℃,控温精度:≥95%;应力加载模式:拉伸/压缩,驱动行程:≥2 μm;倾转方式:双倾,α轴倾转角度:± 20°,β轴倾转角度:± 10°,空间分辨率:≤0.1 nm;

8. 扫描透射系统:

8.1 包括高角环形暗场探头(HAADF)、明场探头(BF)和 暗场探头(DF);配备总数16分割的多分割探头STEM 系统,可同时采集至少4幅来自不同角度的电子信号,包括明场 (BF) ,环形明场 (ABF) 或环形暗场 (ADF) ,高角环形暗场 (HAADF) 的图像;

8.2 多分割探头的每个象限均可实现独立收集信号并成像,支持实时微分相位成像系统,可以实现固有磁场和电场的测量;支持实时微分相位衬度积分成像 STEM 技术,可实现轻重元素同时成像,并支持低剂量高衬度成像。

9. 样品台:五轴增强型全自动压电陶瓷样品台,样品移动范围:X/Y: ±1 mm ; Z: ±0.375 mm,样品漂移速率: ≤ 0.5 nm/min;最小移动精度:≤ 20 pm;

10. 图像记录观察装置:

10.1 配置TEM一体化高速高动态数字相机,快速寻找观察兴趣区;

10.2 配置TEM一体化快速Ceta-S CMOS相机:

像素:感应尺寸:4,096*4,096像素,像素大小:≥14*14 µm2

读取速度:40 fps @ 4k*4k,300 fps @ 512*512;可实时拍摄不间断录像;

存放地点:海南大学(海甸校区)8教皮米电镜中心113室

联系人:李老师(18273157634)、武老师(13303368533)

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