1.设备型号：Spectra Ultra S/TEM

2.生产厂家：Thermo Fisher Scientific

3. 主要应用范围：

材料形貌、电子衍射、高分辨图像及成分分析；

材料原子结构分析（重、轻原子）；

三维结构分析；

多相多场（力、热、电、气）原位实验。

4. 主要特色：

Spectra Ultra S/TEM配备了全新的能量色散X射线（EDX）分析系统Thermo Scientific Ultra-X，更具有目前在商业化S/TEM中前所未有的巨大立体角，不仅仅是对电子束敏感材料的化学分析，甚至其中的痕量元素也能够很好地表征出来，将透射电镜的能谱表征提高到了一个新的阶段。

Spectra Ultra S/TEM的新功能包括：（1）恒定功率的透镜与电子光学设计能够将仪器快速调整至适合其工作的最佳加速电压；（2）Ultra-X EDX检测器将透射电镜的EDX mapping耗时与元素检出限降低了一半；（3）具有探测单电子的能力，极大提高了成像灵敏度，从而可以对软材料进行高分辨率表征；（4）适用于材料的基础研究开发和改进的原子级分析能力。

5. 主要规格及技术指标：

1. 分辨率：

1.1 TEM信息分辨率（非线性）：300 kV，100 pm；

1.2 STEM分辨率：300 kV，50 pm；30 kV，125 pm；

1.3 能量分辨率：< 0.3 eV@300kV；

2. 加速电压：30 – 300 kV内可自由切换，常用30 kV，80 kV，300 kV；

3. 电子枪：超稳定高亮肖特基场发射电子枪(X-FEG)，配备电子枪单色器；束斑漂移 ≤ 0.5 nm/min@300 kV；

4. 球差矫正器：配备聚光镜像差矫正器；

5. 一体化能谱仪：配备对称式电制冷能谱探头，立体角 ≥ 4.4 srad；能量分辨率≤136 eV (Mn-Kα)；最大输入计数率： ≥ 1500 kcps；可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析，原子尺度面分布分析；

6. 带能量过滤器电子能量损失谱：

6.1 配备能量过滤系统,包括能量过滤透射电镜成像（EFTEM）和电子能量损失谱（EELS）分析；

6.2 探测器总像素数量2k*2k，像素尺寸≤18 um；能量分辨率优于(<)0.3 eV；能量范围≥3000 eV；全分辨率下成像速率≥90 fps；最大采谱速度:≥8000 谱/秒；带暗场探头，具有暗场成像功能；

7. 样品杆：

7.1 超大视野低背底为Ultra-X优化的双倾样品杆；

7.2 三维重构样品杆：最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2 µm (+/- 70°内倾转)；最大欠焦量变化：≤ 4 µm (+/- 70°内倾转)；

8. 扫描透射系统：

8.1 包括高角环形暗场探头（HAADF）、明场探头（BF）和 暗场探头（DF）；配备总数16分割的多分割探头STEM 系统，可同时采集至少4幅来自不同角度的电子信号，包括明场 (BF) ，环形明场 (ABF) 或环形暗场 (ADF) ，高角环形暗场 (HAADF) 的图像；

8.2 多分割探头的每个象限均可实现独立收集信号并成像，支持实时微分相位成像系统，可以实现固有磁场和电场的测量；支持实时微分相位衬度积分成像 STEM 技术，可实现轻重元素同时成像，并支持低剂量高衬度成像。

9. 样品台：五轴增强型全自动压电陶瓷样品台，样品移动范围：X/Y： ±1 mm ; Z: ±0.375 mm，样品漂移速率: ≤ 0.5 nm/min；最小移动精度：≤ 20 pm；

10. 图像记录观察装置：

10.1 配置TEM一体化高速高动态数字相机，快速寻找观察兴趣区；

10.2 配置TEM一体化快速Ceta-S CMOS相机：

像素：感应尺寸：4,096*4,096像素，像素大小：≥14*14 µm²；

读取速度：40 fps @ 4k*4k，300 fps @ 512*512；可实时拍摄不间断录像；

存放地点：海南大学（海甸校区）8教皮米电镜中心111室

联系人：李老师（18273157634）、武老师（13303368533）